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多变量分析的完整过程的可视性


在半导体制造,尤其是电气测试数据,但也在其他参数,经常有设置的参数是密不可分的。甚至改变这些参数的相关性可能表明一个问题。因此,多元监测、或多元统计,应用这些参数。多变量分析,也被称为多元……»阅读更多

防止过程偏移与人工智能和收益管理软件


游览过程,或任何偏差在一个特定的过程中,明显影响半导体制造过程的成本和产品收率。在生产过程中偏移在内联检查可以早期发现。然而,在某些情况下,旅行不是后来发现在生产过程中如晶圆测试期间在探测区域后生产。Apar……»阅读更多

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