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>离子注入在在线SIMS测量中的应用
李伟提
(所有的帖子)
Wei Ti Lee是Nova的应用总监。
作者最新文章
离子注入在在线SIMS测量中的应用
通过
李伟提
- 2023年2月13日-意见:0
作者:Wei Ti Lee, Sarah Okada, Lawrence Rooney, Feng Zhang, Benjamin Hickey在半导体行业，离子注入过程已经扩展到广泛的应用领域，其剂量和能量跨越了几个数量级。离子注入是一个非常复杂的过程，有许多参数和因素会影响离子注入的性能。例如，阴影效果从高…
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