技术论文家

光刻技术

• 光刻建模:数据增加框架

  发布于2022年11月17日

• 热扫描探针光刻

  发布于2022年10月13日

• 粒子从EUV光掩模

  8月31日,2022年出版

• 毫升架构为物质波光刻解决逆问题:LACENET

  发布于2022年8月29日

• 衰减相移面具(attPSM) EUV(弗劳恩霍夫IISB)

  发布于2022年7月8日

• ASD的过程进行了原位蚀刻室

  发布于2022年5月6日

• 应力张量中构造的确定性计算薄基片

  4月21日,2022年出版

• 源EUV掩模检查性能指标

  4月18日,2022年出版

• 回顾基本用含氟化合物的光刻图案和半导体处理

  4月6日,2022年出版

• 对薄膜的电阻率和发射率膜对EUV光刻

  4月1日,2022年出版
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