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技术论文

热扫描探针光刻

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一篇题为“边缘接触MoS”的新技术论文2“使用热扫描探针光刻技术制造的晶体管”由École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)的研究人员发表。

“热扫描探针光刻(t-SPL)是通常使用的电子束光刻的温和替代品,以避免使用电子来制造这些器件,众所周知,电子会恶化2dm的[二维材料]特性。在这里,t-SPL被用于制造MoS2基于场效应晶体管(fet)。特别地,首次证明了t-SPL用于边缘接触MoS的制备2fet,结合热尖端模式和Ar+铣削蚀刻2DM。”

找到这里是技术文件.2022年9月出版。

引用:
Ana Conde-Rubio, Xia Liu, Giovanni Boero, Jürgen Brugger
中国机械工程学报(自然科学版),2012,26 (4),528 - 528
DOI: 10.1021 / acsami.2c10150

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