这篇题为“基于afm的Hamaker常数测定与盲尖端重建”的技术论文刚刚由ASML、亚琛工业大学和AMO公司的研究人员发表。
该研究报告了一种基于真空原子力显微镜的方法，用于从EUV光罩中去除颗粒。
找到这里是技术文件。2022年8月出版。
Ku, B.， van de Wetering, F.， Bolten, J.， Stel, B.， van de Kerkhof, M. A.， Lemme, M. C.，基于afm的盲尖端重建Hamaker常数测定。放置板牙。科技，2022,2200411。https://doi.org/10.1002/admt.202200411。
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