摘要
规则是为了获得光化图案掩模检测系统的光源亮度、功率、寿命和洁净度的规格。我们着重于物理过程和技术方面的要求，放射源的十字线检查。我们讨论了扫描仪在放大倍率、系统性能和图像记录方面的异同。源亮度要求从目标吞吐量和缺陷检测灵敏度的角度进行估计。推导过程考虑了光子丸噪声对信号检测的影响，以及光强度和辐射通量守恒定律。我们描述了所需亮度与目标灵敏度指数，光学对比度，场大小和系统吞吐量的比例定律。此外，我们解决了由掩模损伤阈值设置的所需亮度和最小重复率的限制。最后，讨论了系统和源清洁度要求以及源可用性和生命周期的重要性。该分析可以应用于其他基于显微镜的计量和检验应用。”
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清华大学学报(自然科学版)，21(2)，021204(2022)。https://doi.org/10.1117/1.JMM.21.2.021204。
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