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原子力显微镜(AFM),原子力显微镜(AFM)

一种测量表面结构精确到埃级的方法。
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描述

原子力显微镜(AFM)是一种测量表面结构到埃级(1埃= 0.1nm.)的测量方法。AFM机器使用带有微小硬尖或针的悬臂。尖端扫描结构的表面,提供三维测量,分辨率从100 μ m到0.1nm。

AFM是一个小但不断发展的领域,涉及一个独立的系统,提供结构的表面测量。afm是通用的,但相对较慢,有时降级到选定的应用程序。最新的afm速度更快,功能更广,这可能会扩展该技术的应用范围,并可能改变计量领域。

afm是在20世纪80年代开发的,是在光学领域中使用的几种不同系统之一计量这是一门测量结构的艺术。afm用于实验室和fab,在生命科学,半导体和其他领域被发现。

图1:AFM计量系统。来源:力量
图1:AFM计量系统。来源:力量

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