一篇题为“捕捉硅光子电路中空间过程变化的影响”的技术论文由根特大学- IMEC光子学研究小组的研究人员发表。
“我们在这篇论文中提出了一种方法来提取线宽和厚度变化在硅光子晶圆颗粒图。我们提出了一个层次模型，将布局依赖和位置依赖的系统过程变化与不同空间水平上的随机过程变化分离开来。”
找到这里是技术文件．2022年11月出版。
捕获硅光子电路中空间过程变化的影响
邢宇飞，董嘉兴，Umar Khan和Wim Bogaerts
ACS Photonics文章尽快
DOI: 10.1021 / acsphotonics.2c01194。
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