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利用皮秒激光声学测量在不透明层下的叠加和对准标记成像


光学不透明材料在磁随机存取存储器(MRAM)的半大马士革工艺流程或磁隧道结(MTJ)处理后的对准和叠加方面提出了一系列挑战。在所有多层模式中,平版印刷定义的模式在模式和底层之上的叠加和对齐是设备操作的基础。»阅读更多

晶体管和芯片的下一步是什么


Imec CMOS技术高级副总裁Sri Samavedam接受了《半导体工程》杂志的采访,讨论了finFET缩放、栅极全能晶体管、互连、封装、芯片和3D soc。以下是那次讨论的节选。SE:半导体技术路线图正朝着几个不同的方向发展。我们有传统的逻辑缩放,但包装…»阅读更多

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