微x射线(micro- xrf)源和波长色散光谱仪(WDS)将增强扫描电镜的分析能力。
对钢和合金进行准确和精确的分析对于了解其机械和热性能至关重要。这些材料通常含有各种浓度的元素，低至微量ppm水平。因此，用标准扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)不可能测定所有元素的浓度。具体来说，钢和合金的分析具有挑战性，因为:
因此，增加一个微x射线(micro- xrf)源和一个波长色散光谱仪(WDS)将增强SEM的分析能力，以利用每个组件的优势。在本应用中，注意使用两个激发源(电子和x射线)与两个可能的探测器(EDS或WDS)结合使用将被讨论。
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