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光掩模密度的增加及其对EDA的影响

为什么曲线形状可以简化芯片制造的设计规则。

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在掩模上打印曲线形状的能力对半导体设计有很大的影响。D2S首席执行官Aki Fujimura解释了为什么掩模规则检查一直受到复杂设计规则的约束,以及为什么曲线形状对于降低边际和简化芯片设计过程非常重要。



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