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技术论文

利用量子DL发现晶圆缺陷

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国立清华大学的研究人员发表了题为“混合经典-量子深度学习的半导体缺陷检测”的新研究论文。

摘要

“随着人工智能和自动驾驶技术的快速发展,半导体的需求预计将大幅增加。然而,半导体制造业的大规模扩张和新技术的发展将带来许多缺陷晶圆。如果这些缺陷晶圆没有得到正确的检查,这些缺陷晶圆上无效的半导体加工将对我们的环境造成额外的影响,例如过度的二氧化碳排放和能源消耗。本文利用量子计算的信息处理优势,促进缺陷学习缺陷审查(DLDR)。我们提出了一种经典-量子混合算法用于短期量子处理器的深度学习。该框架驱动的量子电路通过调优参数来学习给定的DLDR任务,包括晶圆缺陷图分类、缺陷模式分类和热点检测。此外,我们还探索了具有不同表达能力和纠缠能力的参数化量子电路。这些结果可用于构建未来的路线图,以开发用于半导体缺陷检测的基于电路的量子深度学习。”

找到开放获取这里是技术文件.2022年出版。

杨元富,孙敏;IEEE/CVF计算机视觉和模式识别会议论文集(CVPR), 2022,第2323-2332页。

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