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3/2nm的挑战

新的结构、工艺和产量/性能问题。

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Lam Research计算产品副总裁David Fried谈到了即将到来的工艺节点问题,向EUV光刻和纳米片晶体管的转变,以及工艺变化如何影响成品率和器件性能。



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