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技术论文

主动学习减少半导体制造中缺陷识别的数据需求

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新加坡科学、技术和研究局(A*STAR)的研究人员发表了一篇题为“探索半导体缺陷分割的主动学习”的新技术论文。

“在半导体XRM扫描中应用AL时,我们发现了两个独特的挑战:大的畴移位和严重的类不平衡。为了解决这些挑战,我们建议对未标记的数据进行对比预训练,以获得每个AL循环的初始化权重,以及一个有利于选择包含稀有类的样本的稀有度感知采集函数。我们在半导体数据集上评估了我们的方法,该数据集由由逻辑和内存芯片组成的高带宽内存结构的XRM扫描编译而成,并证明我们的方法实现了最先进的性能。”

找到这里是技术文件.2022年10月出版。

L. Cai等,“探索半导体缺陷分割的主动学习”,2022年IEEE图像处理国际会议(ICIP), 2022, pp. 1796-1800, doi: 10.1109/ICIP46576.2022.9897842。

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